等离子体技术工艺简单，吸附法要考虑吸附剂的定期更换，脱附时还有可能造成二次污染；燃烧法需要很高的操作温度；联合催化法中，催化剂存在选择性，某些条件(如温度过高)会造成催化剂失活，光催化法只能利用紫外光等；生物法要严格控制pH值、温度和湿度等条件，以适合微生物的生长。而低温等离子体技术则较好的克服了以上技术的不足，反应条件为常温常压，反应器结构简单，并可同时消除混合污染物(有些情况还具有协同作用)，不会产生二次污染等。

低温等离子体去除污染物的机理：

(1) 电场＋电子→高能电子

(2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团

(3) 活性基团＋分子(原子)→生成物+热

(4) 活性基团＋活性基团→生成物+热

从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。 

等离子有机废气净化设备广泛用于：治理油烟粉尘领域，如大型火力发 电厂、卷烟厂、纺织厂、印刷厂、造纸厂、钢铁厂、水泥厂等。治理废气、异 味气体领域，如污水、垃圾处理厂、泵站、石化厂、化工厂、制药厂、卷烟厂 、香精厂 、屠宰场等。空气净化方面，如医院、餐饮、宾馆、娱乐场所、车 船，候车室等公共场所、及办公室、家庭、轿车、实验室等。