先进的功能特性：
●  灵活的电极设计保证了工艺的均匀性
●  使用Windows系统的工业计算机控制
●  触摸屏操作，图形用户界面（GUI）
●  菜单驱动式工艺过程
●  绘图和自诊断功能
●  以太网通讯功能
●  节能模式
●  工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能
●  安装简单快捷

规格参数 
工作腔室材料：                    铝
容积：                                36.5 升
内部尺寸：                            229 x 330 x 483 mm
　　　　　　　   
可选电极
● 可抽卸的多层电极板
● 垂直电极
● 3层温控电极
● 低微粒电极
● 次级等离子体电极

工艺气体 
质量流量控制计：                                *多至6路气体
工艺压力：                                         200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间：                                      大约1分钟 (取决于真空泵)
放气：                                               可调
射频发生器：                                      风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源：　　　　　                     220V 单相,2.3 KW, 50Hz
工艺气体：                                         输入压力 1-2 bar
吹扫气体：                                         输入压力 1-2 bar
压缩空气：                                         输入压力 4-6 bar
尺寸：                                               宽/高/深 775 x 723 x 781 mm（不含泵）
重量：                                               约157千克（不含泵）

可选项
● 压力控制器
● 1%精度的真空规
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器
● 300 瓦13.56 MHz射频发生器
● 水冷机
● 单体处理装置
● 真空泵（油泵或干泵）
● 气相MFC