对于轻元素测量，初级 X射线由 PET 单色仪单色化，并由管靶的L射线激发。在中重元素的测量中，一次X射线由石墨单色仪单色化，并由管靶的K线激发。此外，通过自动选择目标元素的**激发条件，例如 K线和L线同时激发、直接法激发和滤波法激发，可以抑制背景并以高灵敏度进行检测。