TVS-40T

该设备用于在无油真空下存储 TEM 支架。通过使用该设备可以大大减少污染物的附着。

由于它们存放在独立的真空室中，因此可以单独取出。TEM支架端口根据客户的 TEM 支架制造,

关于 TEM 持有人

配备 4 个 TEM 支架端口。我们将创建一个与您的支架匹配的端口。可以对应TEM制造商的特殊支架由于独立的排气系统，更换支架时其他存储支架不会暴露在大气中。配备玻璃窗(NW40 法兰)以查看每个支架样品部件

可操作性

配备触摸屏，操作方便。配备程序控制的自动排气顺序和联锁控制。

泵的维护时间显示在屏幕上并通知。

关于选项

灯管加热装置

加热方式:采用带聚光凹镜透镜的卤素灯加热。

散热方式:风扇风冷散热。

温度控制:热电偶测温PID控制，带电子定时开关控制电源尺寸:535 Wx550 Dx185 H

等离子清洗装置

电源:AC100V(单相100V)3A，使用地线三脚插头清洗对象:电子東照射沉积的污染物的去除和附着气体引入:针阀手动调节，电磁阀ON/OFF方式吹扫等离子气体:兼容空气、氩气、氩气/氧气等安全措施:采用系统专用保险丝

等离子电源:频率13.56 MHz，输出0 ~50 W 可变输出显示数字仪表

等离子点火指示灯 等离子照射时间控制电子定时器定时器:0至1、2、3、12、30/sec、min、hr 各自由设定。电子定时器

等离子电源尺寸:250WX300DX135H重量 9Kg等离子枪尺寸:70mm中X220L等离子枪安装 NW-40气体:0.08 至 0.1 MPa，管道1/4"Swagelok(气瓶和减压阀由用户)