适用于g线、i线抗蚀剂的芯片周边曝光用的UV-LED光源。不仅可以安装在新装置上，而且从当前使用的UV灯光源更换也很方便。通过搭载UV-LED，可降低耗电量、降低环境负荷、延长发光源寿命，并且不需要机械相关的消耗部件，从而大大降低客户的运行成本。