尺寸重量

1730*660*1130mm；净重：210kg

电源

电压：AC220V 50/60Hz；功率：4KW

炉管

高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小； 

尺寸：Φ60*1300mm

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空；

一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷；

可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑；

包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合

加热系统

加热元件采用康泰尔发热丝，表面负荷高、经久耐用；

加热区长度：300mm

恒温区长度：150mm； 

工作温度：≤1150℃； 

**温度：1200℃；

升温速率：10℃/min

温控系统

日本富士温控仪表，64段控温程序，可分步、分段

混气系统

三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制；内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀；管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套；每路气体进气管路配有不锈钢针阀；通过控制面板上的旋钮来调节气体流量流量规格：0~1000sccm（可选）；   流量精度：±1.5%

高真空系统

采用双级旋片真空泵+分子泵，极限真空可达4.0*10^-4Pa； 复合真空计，配置电阻规+电离规

抽速：110L/S； 冷却：风冷； 电源:AC220V 50/60Hz

射频电源系统

输出功率:0-300W；功率稳定度：±0.1%；射频电源频率:13.56MHz  稳定性±0.005%；**反向功率:120W；射频电源电子输出端口:UHF； 冷却:风冷； 电源:AC187-253V 50/60Hz

可选配件

各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件

保修卡

整机一年保修（相关耗材除外）