1.提供先进的成套MPCVD气相沉积系统。

2.系统核心器件电源、磁控管国产化，微波功率可到75kW。

3.拥有CST、Comsol模拟仿真和大型工作站，可进行2450MHz、915MHz频段的腔体仿真优化和快速迭代升级。