
2025/03/19 阅读:293
方案摘要
1. 物品准备与预处理
清洁处理:物品表面用异丙醇擦拭去除颗粒物,对生物样品需紫外照射30分钟灭菌。
密封包装:使用真空袋或铝箔包裹,避免多孔材料(如滤纸)直接暴露。
标记状态:区分“已清洁”“待处理”标签,防止交叉污染。
2. 真空型过渡舱操作流程
a. 外部装载:
打开外门,放入物品后关闭并锁紧,确保密封圈无扭曲。
b. 抽真空-充气循环:抽真空至≤1 mbar,充入高纯惰性气体(纯度≥99.999%)至常压,重复3次以置换残留空气。
c. 内部转移:检测舱内氧含量(<10 ppm)后打开内门,用内部手套将物品移至主箱操作区。
3. 吹扫型过渡舱操作流程
a. 持续吹扫:
以5-10 L/min流速通入惰性气体30分钟,确保舱内气体置换彻底。
b. 压力平衡:维持舱内微正压(+5~10 mbar),防止外部空气倒灌。
c. 快速转移:完成吹扫后,立即开门取物并关闭,减少环境暴露时间。
4. 关键参数监测
氧含量:使用电化学传感器实时监测,阈值设为10 ppm(半导体工艺需<1 ppm)。
湿度:露点仪检测应<-40℃,高湿度物品需预干燥。
压力稳定性:压差波动<±3 mbar,防止密封失效。
注意事项
禁止过渡舱内外门同时开启,避免主箱环境破坏。
液体样品需用双层容器密封,防止挥发气体污染循环系统。
若舱内氧/湿度超标,需重新执行吹扫或抽真空流程。
定期更换过渡舱密封圈(每1-2年)并润滑,确保气密性。
5. 应急处理
卡滞处理:若门无法打开,手动泄压阀缓慢释放压力至常压。
污染应急:立即隔离过渡舱,启动主箱自净化程序并排查污染源。
规范使用过渡舱可维持手套箱的ISO 4级洁净环境,适用于纳米材料合成、OLED封装等高精度工艺需求。
