54401010

1800 gr/mm 光栅，摄谱仪模式下

光谱范围：4-16.5nm (75-310eV) 或 4-26nm (47-310eV)

出射端口色散：0.4-0.68nm/mm

分辨率：0.2nm

54402010

800 gr/mm光栅，摄谱仪模式下

光谱范围：10-35 nm (35–124eV) 或10-56nm (22-124eV)

出射端口色散：1.0 – 1.14m/mm

分辨率：0.3nm

54406010

450 gr/mm光栅，摄谱仪模式下

光谱范围：16-65 nm (7–80eV) 或

16-103nm (12-77eV)

出射端口色散：1.7–2.7m/mm

分辨率：0.5nm

光学设计

HJY平面光栅加超环面镜光路设计

焦长

200 mm

孔径

f/17

分辨率

低至0.2nm

波长驱动

步进电机

高真空

10^-6 mbar

真空泵法兰

DN63 LF

狭缝

测微狭缝

阵列探测器法兰

DN100CF/ICF152

可选项

狭缝

自动或固定

超高真空

10^-9 mbar，配备DN100CF真空泵法兰和DN40CF真空计接口