跨界全球 心芯相联
SEMICON CHINA 2026将于3月25日至27日在上海新国际博览中心盛大开展。
奥法美嘉秉承“传递粒度真知，普及纳米知识”的理念，专注于CMP研磨液中大颗粒物（LPC）与关键化学品（H2O2和HF）浓度的在线监控，助力晶圆制造良率提升。
我们诚邀各位莅临奥法美嘉展位参观，期待与您相会全球最大的半导体展。
会期
2025年3月25日（周三）~27日（周五）
地点
上海新国际博览中心（浦东新区龙阳路2345号）
奥法美嘉——展位引导
Entegris SemiChem 在线浓度监测仪
SemiChem在线浓度监测仪是一款集自动取样、分析和报告关键过程的定量化学浓度于一体的化学监测系统。通过全面的在线化学监测，该系统可实时校正Slurry成分，从而稳定控制工艺生产条件。
应用领域：
1. CMP Slurry中氧化物（如双氧水）的浓度分析；
2. 湿法清洁工艺中DSP组分的浓度分析；
3. 高性能传感器检测＜1%H2O2时精度与准确性高；可监测低至100ppm HF组分。
Entegris（PSS）在线液体颗粒计数器
AccuSizer® Mini在线液体颗粒计数器，不仅能根据客户需求灵活匹配功能模块进行在线颗粒监测，还具备LE400、FX和FX Nano等多种传感器选项。设备可高精度地检测远离主峰的几个ppt水平标准差的LPC分布，并快速统计数十万个粒子，为生产过程提供真实可靠的数据支持。
应用领域：
1. CMP中大粒子（LPC）监控；
2. CMP中研磨液在线粒度表征。
Entegris（PSS）AccuSizer液体颗粒计数器
AccuSizer® A7000、A9000液体颗粒计数器具有高灵敏度，高分辨率，高达1024个数据通道等特点。在检测液体中的颗粒数量的同时精确测量颗粒的粒度及粒度分析，结合全新一代软件的强大分析功能，通过真实精细的分布结果，广泛服务于半导体、医药、精细化工、光电等领域。
在展会上，您将了解奥法美嘉最新的半导体粒度表征解决方案，与我们的技术人员面对面交流。
我们诚挚期待您的莅临，共同探讨半导体行业的未来发展趋势。
感谢您对奥法美嘉的关注与支持，相约SEMICON CHINA 2026！
奥法美嘉展位号：T4馆-311
