一、 概述

CMP研磨液在半导体行业具有重要的作用。他们是高密度集成电路生产中的重要一步。CMP研磨液的生产和稳定性是非常复杂和难以预测的，因此，他们必须在生产过程中进行监测，甚至在最后成品也需要进行检测。一些研磨液会表现出独特的行为，这是因为颗粒聚集导致颗粒表面的剪切应力和机械应力变化导致的。这些低水平的凝聚往往会划伤晶片，给最终用户造成重大的经济损失。AccuSizer 780系列仪器已经在CMP研磨液的整个生产及使用过中扮演重要的角色，并且它将持续扮演这一角色。从原材料供应商、CMP研磨液的厂家，研磨液分配供应商，筛选供应商，和芯片制造商，PSS和AccuSizer 780已为客户提供关于研磨液的好坏检测信息约10年之久。

二、 引言

三、 AccuSizer 单颗粒计数技术（SPOS）

AccuSizer 780既是一台颗粒技术仪，同时它也是一台运用单颗粒计数技术的高分辨率粒径检测仪。它是第一个完全自动化的单颗粒技术仪，它可以提供高分辨率的真实的粒径分布，而不是通过模拟计算得到任何假设的分布。仪器报告中的原始数据是颗粒个数及粒径尺寸。使用简单的统计计算，这个软件可以把这些数据分为许多其他有用的加权分布（体积、面积、数量、体积等），提供可以追溯原始数据的准确统计信息。AccuSizer 对于大于1μm的尾端大粒子具有很高的灵敏度，是光散射的600倍。AccuSizer 780仪器的使用，在很多案例中都增加了过滤器的使用寿命，因此投资回报在几个月内就能显现。

四、结果

图1 详细的显示了AccuSizer 780仪器对于CMP研磨液过滤前后的大粒子变化情况。其中图中，蓝色的是CMP研磨液过滤前的的大粒子数据，红色显示的是过滤后的。可以看出过滤的效率情况。图2显示的是通过AccuSizer 780仪器对于过滤器的优化选择，以除去CMP研磨液中1μm的尾端大粒子。

图1.过滤

图2.选择最佳的过滤方案

AccuSizer 780仪器还可以进行在线监测（POU），实时监测大于1μm的大颗粒。此外，POU系统用于确定需要更换过滤器时优化过滤器的维护计划，并且节约成本。图3显示的是AccuSizer在线系统检测浆料中大粒子的情况，过滤器的更换时间可以根据检测结果来定。

图3.AccuSier 在线系统检测的大于1μm的大颗粒(#/mL)

五、结果

AccuSizer 780系列仪器可以有效的监测过滤效率及过滤器使用周期，并且能够准确的监测到浆料中存在的少量大颗粒。AccuSizer 对于实验室及在线监测都非常可靠。