展品介绍

Entegris（PSS）在线滴定仪

SemiChem 在线滴定仪 是一款集自动取样、分析和报告关键过程的定量化学浓度于一体的化学监测系统。通过全面的在线化学监测，该系统可实时校正Slurry成分，从而稳定控制工艺生产条件。

应用领域：

1. 半导体领域CMP Slurry中过氧化物（双氧水）的在线浓度检测；

2. CMP Slurry过氧化物（双氧水）的浓度分析；

3. DSP+（dilute sulfuric peroxide HF mixture）的浓度检测。

Entegris（PSS）在线颗粒计数器

AccuSizer^®Mini在线液体颗粒计数器，不仅能根据客户需求灵活匹配功能模块进行在线颗粒监测，还具备LE400、FX和FX Nano等多种传感器选项。设备可高精度地检测远离主峰的几个ppt水平标准差的LPC分布，并快速统计数十万个粒子，为生产过程提供真实可靠的数据支持。

Entegris（PSS）液体颗粒计数器

AccuSizer®A2000、A7000、A9000液体颗粒计数器具有高灵敏度，高分辨率，高达1024个数据通道等特点。在检测液体中的颗粒数量的同时精确测量颗粒的粒度及粒度分析，结合全新一代软件的强大分析功能，通过真实精细的分布结果，广泛服务于医药、半导体、精细化工、光电等领域。

Entegris（PSS）纳米激光粒度仪

Nicomp^®3000系列纳米激光粒度仪采用动态光散射原理检测分析样品的粒度分布。基于多普勒电泳光散射原理检测ZETA电位。独有的0.9°步进型多角度模块和Nicomp^® 多峰分布可分辨体积比1:2的多组分，可为客户提供精确的纳米颗粒粒度表征和粒度分布测试。

LUM稳定性分析仪

LUMiSizer^® 是一款稳定性分析仪，基于重力沉降法的原理，应用LUM（罗姆）的STEP技术（Space Time resolved Extinction Profiles, 空间时间消光图谱法）可快速、简单地量化乳液、胶体、悬浮液等液相分散体系的稳定性——沉降、上浮、熟化、聚结等行为，一次可同时测定12个样品，可以快速判定和量化其稳定性和效期。

在展会上，您将了解奥法美嘉最新的半导体粒度表征解决方案，与我们的技术人员面对面交流。

我们诚挚期待您的莅临，共同探讨半导体行业的未来发展趋势。

感谢您对奥法美嘉的关注与支持，相约SEMICON China 2025，我们下周见！

奥法美嘉展位号：N2馆-2642

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