肇庆市宏华电子科技有限公司
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  • 宏华电子
    参考报价:电议
    型号:WP-301D晶片双面研磨机
    产地:广东
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  • 详细介绍:


    技术特点:

    ●主要用于碲锌镉,碲镉汞,砷化镓,磷化铟,锑化铟等材料的双面精密研磨工艺,太阳轮、齿圈可联动也可各自独立控制;
    ●配备自主、优化的高精度镶嵌式主轴系统及压力精密实时控制系统;上盘采用浮动式连接方式,确保磨抛过程中与下盘随时保持平行;磨抛压力可按设定好的工艺参数闭环监控并修正。

     

    性能指标:

    WP-301D晶片双面研磨机
    研磨方式通过行星齿轮旋转系统,实现晶片上/下表面双面研磨抛光
    结构方式1根主轴,2个研磨盘((或2个抛光盘)
    研磨尺寸
    mmMax.Ø150(6英寸)
    主轴主轴数量-1
    下盘转速rpm0~30
    研磨盘材料
    玻璃
    直径mmØ766
    数量1(上盘)、1(下盘)
    抛光盘材料-陶瓷
    直径mmØ772
    数量1(上盘)、1(下盘)
    游轮片数量5
    磨抛压力压力调节范围kg0.1~50
    设备外形尺寸WxD×Hmm1572×1053×2533
    设备重量kg约2300