Axio Imager.Vario具有宽大样品空间，十分适合于半导体行业（比如太阳能电池、晶圆加工检测、平板显示器（FPD））成产的材料检测、工艺研发，以及在线检测。

技术参数

1、物镜：5x、10x、20x、50x、100x（可选1.25x，2.5、150x，可选LD功能）。

2、目镜：放大10x（可选16x、25x）；视场数23（可选25）。

3、物镜自动聚焦**行程：5mm。

4、样品空间深度（光轴到立柱的距离）；385mm。

5、载物台行程：

透反两用手动载物台，200mmX200mm移动范围；

反射光用手动载物台，300mmX300mm移动范围；

透反两用电动载物台，200mmX200mm移动范围；

透反两用电动载物台，反射光用时300mmX300mm移动范围，透射光用时200mmX200mm移动范围。

6、显微镜模块质量：17.5到20kg。

7、光源：12V100W卤素灯，智能化光路管理器，光强色温自动可调。

8、可扩展性：可选自动聚焦，可选透射光路。