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| DHM VS 白光干涉仪WLI | DHM VS 共聚焦激光扫描显微镜 | DHM VS 接触式表面轮廓仪 | ||||||
| 2 点主要区别： 1、 DHM®相干长度是400μm，而WLI只有15μm。实际上，这意味着与DHM®聚焦比得上标准的光学显微镜。相反，使用WLI，用户需要搜索条纹，倾斜样本使样本在这个表面小范围内测量。 2、 DHM®是一个更灵活的仪器，因为它使用物镜通过玻璃或者浸入式从光学显微镜测量。WLI要求特定的干涉仪物镜有限定且复杂的玻璃补偿。 | 2点主要区别： 1、 DHM®垂直分辨率并不依赖于放大倍数，即显微镜物镜的数值孔径(NA)。与此相反，CLSM的垂直分辨率依赖于焦点的深度，而其会降低物镜的NA。 2、 DHM®垂直分辨率达到亚纳米精度，而CLSM使用高NA物镜对样品形貌*终的垂直分辨率分辨率只是几纳米。 | 主要区别： 除了相比任何扫描方法的优势外，DHM®是一个非接触式光学表面光度仪，由于非接触方法可防止任何接触损害。采用表面光洁度轮廓仪(如探针式轮廓仪和AFM)的测量，可能会因表面的弹性变形、探针拖动污垢或损坏的探针而受到影响。 | ||||||
| Features | DHM | WLI | Features | DHM | CLSM | Features | DHM® | 轮廓仪 |
| 时间分辨测量 | √ | × | 时间分辨测量 | √ | × | 时间分辨率测量 | √ | × |
| 样品设置，不需要倾斜样品 | √ | × | 对曲率的数字补偿有很大的深度 | √ | × | 快速筛选表面，寻找感兴趣区域 | √ | × |
| 直观聚焦的大垂直可视化范围 | √ | × | 可拆卸和灵活的仪表头 | √ | × | 通过玻璃和浸入式测量 | √ | × |
| 用标准光学显微镜对玻璃进行测量 | √ | × | 非接触、无损方法 | √ | × | |||
| 可拆卸和灵活的仪表头 | √ | × | ||||||
| 参数 | ||
| DHM型号 | T1000 | T2100 |
| 激光源数量 | 1 | 2 |
| 工作波长(±1.0nm) | 666 nm | 666 nm， 794 nm |
| 激光波长稳定性 | 0.01 nm/°C@666nm | |
| 样品台 | 手动或电动 XYZ 三轴样品台，**移动范围 114 mm x 76 mm x 38 mm | |
| 物镜 | 放大倍数 1.25x 至 100x，可选标准物镜、高NA值物镜、盖玻片矫正物镜、长工作距物镜、水镜、油镜等 | |
| 电脑 | Dell**工作站，Intel® 多核处理器，高性能显卡针对对 DHM®优化配置，*小21寸显示器 | |
| 专用软件 | Koala专用数据采集分析软件，基于C++ 和 .NET 附加专用分析软件供不同应用分析(MEMS Analysis Tool，Cell Analysis Tool，Reflectometry Analysis) | |
| 性能 | ||
| 测量模式 | 单激光波长 666 nm | 双激光合成波长8 μm |
| 可用该测量模式的DHM型号 | T1000， T2100 | T2100 |
| 测量精度[nm] | 1.04 | 1.0/5.04 |
| 纵向分辨率[nm] | 2.04 | 2.0/10.04 |
| 测量重复性[nm] | 0.024 | 0.024/0.054 |
| 动态可测纵向范围 | **500 μm 4 | **500 μm 4 |
| **可测台阶高度 | **1.0 μm 4 | **7.0 μm 4 |
| **3.5 μm 4 | **22 μm 5 | |
| 垂直校准 | 由干涉滤光片决定，范围±0.1 nm | |
| 图像采集时间 | 标准500 μs (*快可选10μs) | |
| 图像采集速率 | 标准30帧/秒1024x1024像素(*快可选1000帧/秒) | |
| 实时重建速率 | 标准25 帧/秒1024x1024像素(*快可选 100 帧/秒) | |
| 横向分辨率 | 由所选物镜决定，** 300 nm | |
| 视场 | 由所选物镜决定，范围从 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm | |
| 工作距 | **50倍于景深 (由所选物镜决定) | |
| 样品照明 | *低1μW/cm2 | |
