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Scanning Microwave Impedance Microscopy,简称为sMIM,扫描微波阻抗显微镜,让您的AFM成为专业的电学显微镜!
50nm超高分辨率,~100nm内部电学探测,导体、半导体、绝缘体的广泛适用度,为您提供电导率、介电常数、掺杂浓度纳米级高灵敏度电学表征成像的解决方案。
Scan Wave™ 可应用于多种领域材料的研究和发展:微电子材料,铁电材料,工业材料,以及石墨烯、碳纳米管,2D半导体、纳米材料等新星材料等。
独立扫描模块,包括微波信号发生器、探针干涉模块、自主**同轴屏蔽探针、以及微波近场软件,可应用于各种AFM平台。
特殊MEMS结构探针,有效避免散杂磁场的干扰
·专业多功能自由切换电学显微镜测试功能体验
sMIM-C成像:介电常数、电容变化;
sMIM-R成像:电导率、电阻率变化;
dC/dV 振幅:载流子浓度;
dC/dV 相位:载流子类型+/- ;
dR/dV 振幅:相关损失系数;
dR/dV 相位:相关损失系数
·高精度电学测试,50nm分辨率;
·工业级高灵敏度、低噪音,“Hard stuff”材料电学测试不再是难题;
·可实现表面下成像、检测(>100nm)
·不同材料同步测量:导体、半导体、绝缘体、电介质都可以实现,不同的材料甚至分类都可以 在一次扫描中观测。
·简易操作:不需要样品特别处理,不需要将样品放置在导电或电流中,人性化软件设计,操作简单。
·接触和非接触模式多种扫描模式:即使在做力曲线,只要你想实现,就可以获得电学数据;