压电响应力原子力（PFM）是在原子力显微镜（AFM）的基础上，用导电探针在压电材料上进行测试，得到纳米尺度的压电场机压电分布。具有分辨率高，扫描速度快等特点。

PFM可以应用到如下领域：

1.铁电材料。

2.半导体材料

3.生物材料