KOSAKA LAB ET 4000台阶仪(探针接触式轮廓仪/微细形状测定机)（Microfigure Measuring Instrument）

产品介绍 株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本**家发表光学干杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商，主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为**代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。ET4000系列中，有ET4000A(多动能、自动化、可添加一款3D软件，扫出测量表面的3D形貌) ，ET4000L(完全自动化的，针对体积较大的样品可与大型精密贵重玻璃或晶片尺寸样品) ，ET4000M(Y轴方向手动移动、性价比高、易于使用) ，常用的是ET4000A。ET4000系列具有良好的稳定性、高精度和强大的功能。在平板显示器FPD，晶片，硬盘和其他纳米尺度上的应用广泛。

主要特点：

（1）**的台阶再现性与线性度。

（2）超高真直度，可确保量测图形不受任何影响，并可在真直度的保证下进行长距离测量。

（3）采用超低噪音直动式 LVDT，超低测定力的触针可任意调节。

（4）配备高分辨率的 CCD 即时进行高精度定位测量。

（5）可对应各种国际规范，测定参数多达 60 多种。

（6）适用于各种与纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。

技术参数 一、测定工件：

1. **工件尺寸 210 × 210 mm to 300 × 400 mm

2. **工件厚度 50mm

3. **工件重量 2kg

二、检出器（pick up）：

1. Z 方向测定范围 Max. 100μm

2. Z 方向分解能 0.1nm

3. 测定力 0.5 μN to 500 μN

4. 触针半径 0.5 ， 2 μm

5. 驱动方式 直动式

三、X 轴 (基准轴)：

1. 移动量(**测长) 100mm

2. 移动的真直度 0.005μm/5mm

3. 测定速度 0.005 ~ 2mm/S

4. 位置定位时速度 Max. 10mm/S

5. 线性尺(linar scale) 分解能 0.01μm

6. 位置定位再现性 ± 5μm

7. 滑轨 材质为在铸铁(CD-5)上，镀上硬质 Cr，无润滑(于移动台侧，使用铁弗龙折动材料)

8. 驱动 DC motor + Dynamic belt

四、Y 轴(位置决定用)：

1. 移动量 52mm

2. 移动速度 max.3mm/S

3. 滑轨 Crose roller 滑轨

4. 驱动 DC motor + 滚珠螺杆(P=2mm)

5. 检出器自动停止机能

五、工件台：

1. 工件台尺寸 210mm×210mm

2. 自动倾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/186mm

3. 分解能 0.25μm

4. 驱动 pulse motor

六、全自动量测功能

七、工件观察 max. 80倍(可选购其它高倍率 CCD)

八、床台 材质为花岗岩石

九、段差测定再现性 1δ， 5A°以内

十、防振台(选购) 落地型或桌上型

十一、电源 AC100V±10%，50/60HZ，800VA

十二、本体外观尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震台)