KOSAKA LAB ET 150 台阶仪

设备特点： KOSAKA ET150基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET150能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。

ET 150配备了各种型号，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。

规格 一、測定工件：

1. **工件尺寸：φ160mm

2. **工件厚度：50mm

3. **工件重量：2kg

二、檢出器（pick up）：

1. Z方向測定範圍：Max. 600μm

2. Z方向分解能：0.1nm

3. 測定力：min.1mgf，max.50mg

4. 觸針半徑：2 μm

5. 驅動方式：直動式

6. 再現性：1σ= 1nm

三、X 軸 (基準軸)：

1. 移动量(**測長)：100mm

2. 移動的真直度：0.2μm/100mm

3. 移動，測定速度：0.02 ~ 10mm/s

4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm

四、Z軸：

1. 移动量：50mm

2. 移動速度：max.2mm/S

3. 檢出器自動停止機能

4. 位置決定分解能：0.2μm

五、工件台：

1. 工件台尺寸：160mm

2. 機械手動倾斜： 1mm/150mm

六、工件觀察：max.110 倍(可選購其它高倍CCD)

七、床台：材質為花崗岩石

八、防振台(選購)：地型或桌上型

九、電源：AC100V±10%， 50/60HZ， 300VA

十、本體外觀尺寸及重量： W494mm;D458mm;H610mm， 120kg (含防震台)