等离子体热处理炉为德国生产，具有等离子清洗、表面处理、材料表面修饰、材料热处理的功能。

仪器特点及基本参数：

1. 具有等离子体清洗、表面修饰、表面处理、表面活化的功能；

2. 具有真空能力(10-5mbar)；

3. 芯片倒装凸点(Bump)；

4. 凸点焊接；

5. 键合；

6. 功率器件焊接；

7. 样品尺寸：170X200mm，或300x300mm；

8. 温度：650摄氏度；

9. 24支红外灯加热；

10. 2路MFC气路；