• NX20型原子力显微镜简介：

  NX20型原子力显微镜是韩国PARK原子力显微镜公司功能*强大的工业级大尺寸原子力显微镜，这是一款全自动的原子力显微镜系统，**扫描范围达300mm*300mm，扫描分辨率0.02nm，集成了PARK公司**技术“非接触式工作模式”“智能扫描模式”“基于压电陶瓷堆积技术的平板扫描器”，并标配快速扫描模式，变速扫描模式，多种测量模式可选，NX20型原子力显微镜被广泛用于半导体，LCD，LED，OLED，硬盘等工业领域。

• NX20型原子力显微镜技术特色：

  1）采用非接触式工作模式：

  PARK公司是目前全球**一家真正实现非接触测量模式的原子力显微镜厂家，在不影响测量精度的前提下，可实现样品与针尖的非接触测量，避免了由于针尖磨损带来测量重复性差与探针磨损快的缺点。

  下图是测量CrN样品的实例，CrN样品的硬度很高，具有三角形结构，采用非接触模式测量100幅图后，图像质量几乎无变化，针尖几乎无磨损！！！

2）探测器噪声水平为全球业界*低：0.02nm

Z轴探测器是全新的NX系列原子力显微镜的核心技术改进之一，它是Park**的新型应变传感器，凭借着0.2埃的超低噪声，它一跃成为行业内噪声*低的Z轴探测器，检测原子台阶及其容易。

3）采用全球**性能平板扫描器：采用**技术得三轴分离的平板扫描器，在整个80μm的扫描范围内误差＜1nm !!!!

4）操作极其简单：

- 具有“智能扫描模式”Smart scan：这是PARK公司的**技术之一，用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈，无需寻找共振峰，无需调整反馈参数gain值

- 具有中文，英文等多种操作界面

- 凭借着我们先进的预准直悬臂架，悬臂在装载时激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同轴视角（行业****）让您可以轻松地找到激光光点。由于激光垂直照射在悬臂上，您可以凭直觉旋动两个定位旋钮，将激光光点随着X轴和Y轴移动。这样，您可以在激光准直界面中，轻易地找到激光并将其定位在PSPD上。此时，您只需要稍作调整实现信号的**化，便可开始获取数据。

5）具有全球*广泛的原子力显微镜模式：

6）工业级别的XEA软件：具有自动识别，自动扫描，自动分析功能，大大节约了人工操作的误差及浪费的时间。

7）导电原子力显微镜：

Park导电原子力显微镜在市场中竞争力*强，不但有着全行业*低的电流噪声，且增益范围也是**，并且可实现电流快速扫描功能，是半导体测试电流的标准。

- 业内*低的电流噪声(50fA)

- 业内**的电流(10mA)

• NX20型原子力显微镜主要技术参数：

  - XY闭环扫描范围大：达100μm*100μm

- Z向闭环扫描范围大：达15μm

- 超高的测量分辨率：可达0.02nm

- 全自动扫描范围：150mm*150mm（200mm*200mm，300mm*300mm）

- 具有快速扫描功能：**达100Hz

• NX20型原子力显微镜部分测试实例：