美国SVT公司CIGS铜铟镓硒系统

35-V-100是薄膜沉积精密设备，是适用于4英寸衬底的CIGS研发型设备

SVTA-CIGS-30是生产型系统

还可提供各种大容量生产型的S/Se源，包括点源（200CC-2000CC）和线性源（8000CC）

*多可放6个样品

可靠地高温衬底加热器

多重泵抽组合包含Se trap

关于衬底操作还可以添加集群腔室，便于以后升级

*多容纳10个源

先进的在线监控仪