集中传送室位于各真空室中心，可以实现样品在任意腔室之间传递。样品可以从装载室到各个腔室模块，例如薄膜生长室、金属化室、或样品分析室。SVT可以提高以下2种配置的集中传送室，也可以客户订制。

SVTA-CLM-6

• **8''样品

• 含6个12'' CF法兰端口

• 6'' CF观察窗

• 2.75'' CF法兰离子规端口

SVTA-CLM-4

• **5''样品

• 含4个8''CF法兰端口

• 4.5''CF观察窗

• 2.75''CF法兰离子规端口