艾泰克仪器科技(南京)有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:美国
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  • 详细介绍:


    特点

    集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测。

    技术参数

    项 目 简 述参数说明
    1. 共焦

    l可快速垂直扫描的旋转共焦技术

    l使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150倍) 3D全视野3D镜头,用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉测量>: 72° vs 44°)

    l具有光学形貌上超高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机,空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的理想配置

    l在测量表面粗糙度/表面反射率上没有限制

    l应用于透明层/薄膜

    l兼容亮视野&暗视野; 光学DIC

    l长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选

    l高稳定性

    2.干涉仪(WLI)

    lZ向高分辨率

    l兼具相移(PSI)以及垂直扫描(VSI)模式

    lZ向分辨率可独立放大

    l四色CCD 相机,用户可自选的LED光源 (白光、绿光蓝光和红光)

    l高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机

    l快速处理器

    l自动对焦

    3.原子力显微镜

    l探针扫描可用于大型模板

    lXYZ三向可达原子级分辨率

    l大压电探针扫描XY: 达到 110x110um

    4.变焦

    l粗糙表面分析

    l快速分析

    l特点:一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪 高精度原子力显微镜