上海迹亚国际商贸有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:江苏
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  • 详细介绍:


    LEBO 旋涂仪 EZ6

    规格参数:

    1、旋涂基材6英寸或更小

    2、包括三个真空旋转卡盘

    3、用于手套箱的占地面积小

    4、易于使用的触摸屏界面

    5、可编程旋涂工艺

    6、耐用的设计以及耐化学腐蚀的材料

    7、耐化学腐蚀HDPE旋转碗

    8、耐用的不锈钢机身,具有耐化学腐蚀的透明旋转盖

    9、4.3”触摸屏界面

    10、基板尺寸:从1厘米到6英寸晶圆

    11、转速范围:100-12000 RPM

    12、转速分辨率:1RPM

    13、加速范围:空载100-30000 RPM / s

    14、程序:10个旋转程序,每个程序有10个步骤

    15、安全:真空联锁和旋转盖联锁

    16、尺寸:270(W)*387(D)*258(H)