ECHO Pro™ 全自动超声波扫描显微镜

全自动生产型:

● 批量 Tray盘和框架直接扫瞄

● 编程自动判别缺陷

● 高产量，无需人员重复设置

● 自动烘干

SONIX 硬件优势

● 紧凑、稳定的结构设计

模块化设计使得结构简单、稳定，易于维护

● 高速、稳定的马达设计

扫描轴采用***的线性伺服马达，提供高速、稳定、无磨损的扫描

● **的超声波探头/透镜

提供精确的缺陷检验，*小能探测到仅0.1微米厚度的分层。

● PETT技术

反射及透射同时扫描，有效提高元器件分析效率