深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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    型号:
    产地:德国
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  • 详细介绍:


    产品详情

    美Nano-master兆声晶圆清洗机SWC-4000

    产品特点:

    SWC-4000兆声晶圆清洗机:Nano-Master兆声单晶圆及掩模版清洗机提供高可重复性、高均匀性及Z先进的兆声清洗。它可以在一个工艺步骤中包含了**的无损兆声清洗、化学试剂清洗、刷子清洗以及干燥功能。

    SWC-4000兆声晶圆清洗机应用:

    。带图案或不带图案的掩模版和晶圆片

    。Ge, GaAs以及InP晶圆片清洗

    。CMP处理后的晶圆片清洗

    。晶圆框架上的切粒芯片清洗

    。等离子刻蚀或光刻胶剥离后的清洗

    。带保护膜的分划版清洗

    。掩模版空白部位或接触部位清洗

    。X射线及极紫外掩模版清洗

    。光学镜头清洗

    。ITO涂覆的显示面板清洗

    。兆声辅助的剥离工艺

    特点:

    。支持12"直径的圆片或9"x9"方片

    。独立系统

    。无损兆声,试剂,毛刷清洗及旋转甩干

    。微处理机自动控制

    。化学试剂滴胶单元

    。溶剂与酸分离排废

    。热氮

    。30"D x 26"W 的占地面积

    选配项:

    。掩模板或晶圆片夹具

    。臭氧清洗

    。PVA软毛刷清洗

    。高压DI清洗

    。氮气离子发生器