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SENTECH ICP等离子沉积系统-SI 500D
SENTECH仪器（德国）有限公司是国际主流的半导体设备商，研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器（反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统）。
SI500D等离子沉积系统是ICP-PECVD设备，利用ICP高密度等离子源来沉积电介质薄膜。可在极低温度下(< 100oC)沉积高质量SiO2， Si3N4， 和SiOxNy薄膜。可以实现沉积薄膜厚度、折射率、应力的连续调节。
l 适用于8寸以及以下晶片
l 低温沉积高质量电介质膜：80°C~350°C
l 高速率沉积
l 低损伤
l 薄膜特性 (厚度、折射率、应力) 连续可调
l 平板三螺旋天线式PTSA等离子源(Planar TripleSpiral Antenna)
l SENTECH高级等离子设备操作软件
l 穿墙式安装方式
