北京亚科晨旭科技有限公司
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    型号:
    产地:德国
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  • 详细介绍:


    Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150

    一、产品简介

    德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商,尤其在高温设备领域。Centrotherm RTP 150是一款高性能快速热工艺设备,主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。

    RTP 150型快速热反应设备,采用紧凑型的真空腔室设计满足多种工艺需要,是一款可用于生产和研发用的单晶圆工艺设备。

    RTP 150型设备包括一个带集成压力学习控制压力范围在1mbar至50mbar的真空腔室。采用灯管加热系统提供了可调节的加热均匀性控制,采用了CENTROTHERM公司**技术的温度控制系统。

    RTP系统可用于6寸晶圆和5寸石墨基板的加热。可在15分钟内更换基板的尺寸和类型。

    设备用于高性能、小占地面积、低成本高工艺灵活性的工艺场合。

    设备特点:

    压力可控的真空或大气环境下工作

    高灵活性:**6寸硅片或其他材料

    温度范围:20℃~1150℃

    不限时加热的工艺温度可达 750℃

    升温速率可达150k/s(即150℃/秒)

    每个加热灯管独立控制,极高的温度均匀性

    ±0.5℃温度一致性

    长寿命加热灯管,低维护成本

    典型应用:

    金属接触退火

    掺杂物活化

    源极/漏极退火

    干氧化

    薄晶圆退火

    设备参数:

    应用:生产或研发

    基板材料:硅片、GaAs、石墨、碳化硅、氮化镓、蓝宝石

    晶圆尺寸:**6寸

    加热系统:24组加热灯,PWM控制

    冷却水:20 L/分钟

    风:250 m3/小时

    可选件:

    用于温度曲线调整的温度测量系统

    用于全自动操作的双机械手臂