TRYMAX 等离子除胶机

型号：NEO系列

TRYMAX该公司主要提供半导体等离子清洗、去胶、活化设备。

Trymax目前拥有半自动、全自动系列设备供用户选择，目前已有上百台设备安装在世界各地，被广泛地应用于MEMS微机电系统、微流体器件、SOI基片制造、先进封装、化合物半导体器件、功率器件和光电显示等领域。

一、设备工作原理

等离子体是物质的一种存在状态，该状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

Trymax NEO Series就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，通过射频/微波电源在一定的真空条件下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。

二、TrymaxNEOSeries应用

前道：LightEtching；Descumstrip；PRAshing；离子注入后，光刻后，镀膜前等工艺过程； 后道/先进封装/3DIC：DescumBumping；MEMS；PlasmaTreatment；WaferCleaning等。

Trymax 先进等离子灰化和蚀刻 NEO300A/NEO200A系列平台

NEO200A系列平台是Trymax半导体设备行业**的NEO系列先进灰化和蚀刻产品的**成员。

它是一个全自动的单室系统，可配置任何现有的Trymax NEO工艺模块，并与直径达200mm的基板兼容。占地面积小的NEO200A配置有双盒式磁带。

•特征

- **200 mm晶圆尺寸/基板尺寸

- 双盒式平台

-3轴双臂机器人处理

-4个不同的处理模块：

•下游微波（2.45 GHz）

•射频偏压（13.56MHz）

•双源（微波，射频偏压）

•DCP（RF偏置，直接耦合等离子）

- 优异的均匀性和可重复性

- 机械吞吐量> 100wph

- 紧凑的足迹

- 非常低的拥有成本

- 完全数字控制，Devicenet以太网

- 基于窗口的工业计算机

•应用程序

- 阻挡条带

-Descum处理

- 去除聚合物

- 邮寄高剂量植入带

- 氮化硅蚀刻应用

-MEMS应用程序

- 封装加工（PR，PI，BCB，PBO）

Trymax Semiconductor Equipment的NEO200系列先进等离子灰化/蚀刻系统是**的光刻胶和蚀刻设备，以惊人的价格提供**的性能。专为**200 mm基板应用而设计。

它配备了一个灵活的装载站，可配置用于处理**200 mm的所有不同尺寸的基板。

NEO200系列集成了研究和设备制造商紧凑设计的所有要求，可实现*低的拥有成本。

•特征

- **200 mm晶圆尺寸/基板尺寸

- 用于半自动晶圆传输的单个装载平台。

-4个不同的处理模块：

•下游微波（2.45 GHz）

•射频偏压（13.56MHz）

•双源（微波，射频偏压）

•DCP（RF偏置，直接耦合等离子）

- 优异的均匀性和可重复性

- 紧凑的足迹

- 非常低的拥有成本

- 完全数字控制，Devicenet以太网

- 基于窗口的工业计算机

•应用程序

- 阻挡条带

-Descum处理

- 去除聚合物

- 邮寄高剂量植入带

- 氮化硅蚀刻应用

-MEMS应用程序

- 封装加工（PR，PI，BCB，PBO）