钨灯丝扫描电镜 VEGA

VEGA3 XM是一款由计算机控制，可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

· 概述

分析潜力

· XM样品室配备有5轴马达驱动样品台

· 多于12个接口，优化的几何设计更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）

· 一流YAG闪烁器式探头

· 可选各种探头和配件

· 涡轮分子泵和机械泵同时工作，几分钟即可达到仪器操作需要的真空状态

· 在可变真空模式下可观测不导电的样品（XMU型号）

· 可选样品室减振方式

· 3维Metrology软件提供了三维重构与3维测量功能

VEGA3配置

XM型号适合观测大样品。

VEGA3 XMH超大样品室，高真空模式，适用于观测大型导电材料。

VEGA3 XMU可变真空式扫描电镜，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。

· 软件

标配：

测量

图象处理

3维扫描

硬度测量

多图像校准

对象区域

自动关机时间

公差

编程软件

定位

投影面积

EasySEMTM

根据实际配置和需求

·

· 技术规格

· 配件

· 二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）

· 可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）

· 低真空二次电子探头

· 探针电流测量

· 压差式防碰撞报警装置

· 可观察样品室内部的红外线摄像头

· 冷台

等，各种配件可供选择