聚焦离子束（Xe）扫描电镜 FERA

FERA3 XM是一款由计算机全控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统 (GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

· 概述

· 软件

· 技术规格

· 配件

· 图片

· 其他

分析潜力

· 高亮度肖特基发射可获得高分辨率，高电流和低噪声的图像

· 选配的In-Beam二次电子探头可获取超高分辨率图像

· 三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计

· 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™）可模拟和进行束斑优化

· 成像速度快

· 低电压下的电子束减速模式（Beam Deceleration Technology – BDT）可获取高分辨率图像（选配）

· In-Beam背散射电子探头，用于在小工作距离下得BSE图像（选配），甚至适合铁磁性样品

· 全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控

· **的几何设计更适合安装能谱仪（EDX）、波谱仪（WDX）、背散射电子衍射仪（EBSD）

· 由于使用了强力的涡沦分子泵和干式前置真空泵，因而可以很快达到电镜的工作真空。电子枪的真空由离子泵维持。

· 自动的电子光路设置和合轴

· 网络操作和内置的远程控制/诊断软件

· 3维电子束技术提供实时立体图像

· 低真空模式下样品室真空可达到500Pa用于观测不导电样品

· 独特的离子差异泵（2个离子泵）使得离子散射效应超低

· 聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器

· 聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒

· 高束流下超高的铣削速度和**的性能

· FIB切割、信号采集、3维重构（断层摄影术），3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化

· 成熟的SEM/FIB/GIS操作软件，图像采集、存档、处理和分析功能

FERA3配置

FERA3 XMH

是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，在真空模式下工作。

FERA3 XMU

是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，可在高真空和低真空模式下工作。