技术参数：

德国CFP 激光共聚焦显微镜

测量行程Z: 1000 µm

测量距离 : 4 mm 可测量抛光镜头

测量频率 : max. 1000 Hz 敏感及软质材料

分辨率 Z : 20 nm 适于反光不同的点

分辨率X Y: 1 µm 低反射率快速测量

测量角度 : approx. 90°± 25°*1

测量光源 : semiconductor laser，

660 nm， class 2*2

主要特点：

可测量抛光光学镜头

测量敏感及软质材料

适于反光率不同的反光点

低反射率的材料也可快速测量