上海奥法美嘉生物科技有限公司
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    参考报价:电议
    型号:InVue GV148
    产地:美国
    在线咨询
  • 详细介绍:


    InVueGV148 液体浓度监测器

    集成一体的实时过程监控系统


    InVueGV148液体浓度监控器可以实时提供测量过程流体的浓度,用于化学混合、提升浓度和稀释,无需中断过程检测。


    InVue®GV148液体浓度监控器集成在一个小型密封外壳中,可提供性价比高的浓度监测,使前端(FEOL)、后端(BEOL)和工厂生产系统的工艺效率提高。这种工艺可以使过程控制更为严格, 从而提高工艺效率,减少成本投入,也减少废料的产生。


    用户软件强大


    采用基于Windows®的HMI软件应用程序来支持 GV148配置和实时监控。该软件允许用户:


    ·获得实时折射率、流体温度和浓度信息

    ·自定义折射率以及浓度切换

    ·获取和分析化学品特定温度补偿的数据

    ·传感器平衡操作

    ·查看当前警告信息、系统事件和警告历史信息

    ·折射率归零

    ·配置模拟输出


    经过验证的折射率检测技术


    GV148监测仪采用经过验证的折射率检测技术,外观小巧,可提供准确、安全和可重复的液体浓度测量方法。在线传感器可精确测量过程流体的折射率(IoR)和温度。然后,我们将利用这些信息 来计算工艺中液体的浓度。


    工作原理


    使用折射率技术,当光从平面玻璃或液体表面反 射到光电二极管检测器(PDA)时,InVue®GV148 浓度监测器开始工作。反射角是由液体与窗口之 间的折射率比决定的。定制的算法可以检测反射 光强度的微小变化。这种可以反射几何形状的能 力和小型化设计是InVue®GV148的重大特点。


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    应用领域


    ·H2 O2 溶液混合

    ·研磨液稀释

    ·专有添加剂混合

    ·全球和本地循环监控

    ·批量溶液混合监控

    ·容器寿命检测

    ·CMP后清洁溶液混合


    功能与优势


    基于折射率的测量

    为过程控制提供实时浓度和温度验证

    快速响应时间,用于即时偏差检测

    测量各种介质中的浓度,包括非导电流体

    非直接接触式,保持化学物质纯度和洁净度

    符合在线工艺效率要求

    含氟聚合物和蓝宝石的超纯润湿表面保持化学物质的纯度和洁净
    小巧型电子产品

    *小化整体工具体积

    轻松集成到新的和现有的工具空间

    HMI软件

    实时数据记录和分析工具

    允许为定制专有化学品浓度监测

    用于密切监控系统事件,参数变化和警报历史,包括详细 的事件日志

    多种通信选项

    RS485、RS422、4-20mA

    灵活满足各种控制系统

    全密封传感器在恶劣的环境中依旧提供准确性、可重复性和可靠性
    背景光扣除算法在背景光存在的情况下依旧保持高准确性
    传感器无耗材只需要*少的硬件和预防性维护
    镜面清洁端口便于手动清洁蓝宝石镜面
    LED状态灯提供监视器频次、通信和错误的指示

    可选的N2/DI自动*

    原位镜面清洁器

    **限度地减少维护停机时间,特别是在研磨液和亲水性化学品中

























    *配备适当的阀门和控制器


    功能与优势


    传感器结构材料流动池主体聚四氟乙烯(PTFE)*
    光学镜面单晶蓝宝石*
    电缆护套聚氯乙烯(PVC)
    阀盖、外壳聚偏氟乙烯(PVDF)
    安装板聚丙烯(PP)
    电器设备电缆连接19 pin Turck® male
    额定电流启动时1.0A ; 操作期间0.5A
    主电压输入24 VDC
    IO电压输入12 ‒ 24 VDC
    短路保护
    外部LED4
    模拟输出4 ‒ 20 mA 浓度、流体温度、折射率(RI)
    离散数字输入2
    离散数字输出** 2.80 mAdc (各个部件)
    复位数字输入、串行命令或HMI软件
    串行通信**压力80psi 40℃(104°F)
    工艺流体温度范围20°C to 40°C(68°to104°F)
    环境温度范围20°C to 35℃(68°to95°F)
    储存温度范围-15°C to 40°C(5°to 104°F)
    折射率检测折射率检测范围** 1.32-1.40 nD
    准确性±2×10-4nD(@20℃[68°F]from 1.332987-1.4000 nD)
    重复性5×10-5nD(@20°C [68°F]透明液体中)
    精度3×10-6nD(@20°C[68°F]纯水中)
    响应时间<3sec 对63%稳态变化的非平均响应时间
    趋势变化<5×10-5nD/30days(@20℃[68°F])
    压力敏感度(典型)8×103 nD/psig(@20°C[68°F]纯水中)
    符合ROHS标准符合
    附件IP54
    培训一次





































    *亲水性的组件

    **对于折射率超出此范围的流体,请联系奥法美嘉


    配置


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    入口/出口连接端口尺寸

    ABC
    1/4"Flaretek管配件114.6mm(4.51")33.0mm(1.30")111.0mm(4.37")
    3/8Flaretek管配件117.7mm(4.64")34.7mm(1,.37")113.5mm(4.47")
    1/2"Flaretek管配件120.9mm(4.76")36.3mm(1.43")119.6mm(4.71")
    3/4"Faretek管配件126.6mm(4,99")38.9mm(1.53")132.6mm(5.22")
    1"Faretek管配件126.6mm(4,99")38.9mm(1.53")154.9mm(6.10")
    1/2"Primelock管配件120.9mm(4.76")36.3mm(1.43")122.9mm(4.84")
    1"Primelock管配件126.6mm(4,99")38.9mm(1.53")149.6mm(5.891)
    1/4"支柱管接头114.6mm(4.51")33.0mm(1.30")100.5mm(3.96")
    3/8"支柱管接头117.7mm(4.64")34.7mm(I.37")112.5mm(4.43")
    3/4"支柱管接头126.6mm(4.99)38.9mm(1.53")134.5mm(5.29")


















    订购须知

    InVue GV148液体浓度监测器:配件号


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    配件编号描述
    GV1CBLH0419针螺旋接头,带4.0米(13.12英寸)聚氯乙烯护套电缆
    GV1USBCVTUSB转4线串行转换器




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