纳米级位移测量光源解决方案——excel precision 1001D双频激光头

2026/10/15  阅读:155

方案摘要

行业痛点: 半导体设备定位校准、精密机床精度验证需要纳米级位移测量,对激光波长稳定性要求极高。传统激光器波长漂移会影响干涉测量的精度,导致测量结果不可靠。

方案内容: excel precision 1001D塞曼稳频双频He-Ne激光头,提供0.3nm位移测量分辨率的波长基准。1001D利用纵向磁场使氖原子能级分裂,产生两个频率极其稳定且频率差恒定的正交偏振激光束。分频频率为3.4至4.0MHz。配合干涉仪使用时,可实现0.3nm的位移测量分辨率,测量速度最高可达1.0m/s。

技术参数: 真空波长632.99137nm。分频频率3.4~4.0MHz。频率稳定度2×10⁻⁸。光束直径6mm(3/9mm可选)。输出功率>0.2mW,<1mW。供电15V DC。测量分辨率0.3nm。测量速度最高1.0m/s。


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