SEM样品制备镀金解决方案——JEOL EB1014金靶原厂耗材

2026/10/15  阅读:31

方案摘要

行业痛点: 在材料科学研究和工业检测中,扫描电镜是不可或缺的分析工具。然而,陶瓷、塑料、纤维、粉体等绝缘样品在电子束照射下容易积累电荷,导致图像发白、漂移甚至无法成像。溅射镀金是解决这一问题的标准方法,但靶材质量对成像效果有直接影响。第三方靶材纯度不稳定,可能导致膜层不均、颗粒状缺陷或成像重复性差。

方案内容: JEOL EB1014金靶(P/N 780110871)是JEOL溅射镀膜仪的配套耗材,采用99.99%(4N)高纯金制造,适用于JFC系列离子溅射仪。EB1014金靶的纯度为99.99%,适配JEOL JFC-1200、JFC-1300、JFC-1400、JFC-1600、JFC-2300HR等溅射镀膜仪,以及JEC-3000FC、Smart Coater等等离子溅射镀膜仪。原厂靶材的平面度和尺寸公差经过精密控制,与溅射腔体严格匹配。

技术参数: 纯度99.99%,直径φ49mm。推荐溅射气体高纯氩气(≥99.999%),工作真空度约5至10Pa,典型溅射电流10至40mA。干燥、避酸碱、常温密封保存。


配置单
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