日本INTECS卤素光源UIH-3D光学检查照明解决方案

2026/09/18  阅读:7

方案摘要

行业痛点:目视外观检查和显微观察时,普通照明色温不稳、光斑不均,反光强的金属或透明试样容易出现眩光,影响划痕、异物等细小缺陷的辨识。

解决方案:采用INTECS(インテックス)UIH-3D卤素光源作为检查照明,配合显微镜或观察光路提供连续、显色性好的照明输出,用于晶圆、金属薄片、涂层等试样的表面观察与缺陷辨识,光源可接入既有光学检查工位。

方案优势:卤素光源光谱连续、显色自然,适合人眼观察和显微成像时对色彩层次的判断,作为检查工位的固定照明有助于降低光线不足导致的漏检。具体参数以正式规格书为准。


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