日本Sanyu碳蒸镀装置SC-701CT扫描电镜样品碳膜沉积解决方案

2026/09/17  阅读:193

方案摘要

行业痛点:不导电样品直接进扫描电镜会荷电,图像发糊;传统碳蒸镀每次需手工削碳棒,膜厚随操作人员手法波动,批次间不一致。全套高真空蒸镀设备价格高,实验室需要一台紧凑型、换人也能复现的入门方案。

解决方案:SC-701CT采用闪蒸式碳蒸镀,卡式碳支架、电极一组,涂布次数1至19次任意设定、每次约0.3秒,碳棒φ5mm专用。腔室内径φ160×D160mm,蒸着电源12V/Max.70A,前面门开闭式换样,直连型旋片泵100L/min排气。整机AC100V 15A,国内使用需变压器,本体360×400×265mm、约26kg。

方案优势:卡式碳棒与定时闪蒸免去手工削棒,减少个人差异、膜厚复现性好;紧凑型桌面结构适合常规碳膜沉积;配自动漏气阀旋片泵,降低入门门槛。该机仅旋片泵排气,适合常规碳蒸镀,不用于高真空金属蒸镀。具体参数以正式规格书为准。


配置单
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