日本ANELVA佳能安内华 MG-2/WF 真空计 真空镀膜过程压力测量解决方案

2026/09/15  阅读:167

方案摘要

行业痛点:真空镀膜和薄膜工艺在高真空段要求连续、稳定的压力读数。皮拉尼等规在粗真空段好用,到了高真空段灵敏度和线性变差;通用规管体积大、接线不便,往腔体上集成时安装空间受限,工艺一旦失压难以及时报警。

解决方案:MG-2WF为微型热阴极B-A电离规传感头,本体SUS304不锈钢,钨丝双灯丝,走φ15规口焊接或接法兰,灵敏度0.045Pa^-1,测量上限约13Pa、下限约10^-5Pa,配M-431HG、M-833HG等控制单元读数。栅极电控加热除气,规头容积约12cc,便于紧凑集成到镀膜腔体。

方案优势:微型B-A结构在高真空段线性好、重复性佳,双灯丝提升连续运行可靠性;它本身不是皮拉尼复合规,需从大气压粗真空段测量时,可在控制端配热电偶规自动切换实现宽量程。具体参数以正式规格书为准。


配置单
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