低温液氮探针台产品主要是由真空腔体、探针控制、显微镜模块、变温样品台、进口分子泵组、全旺程真空规、智能温控仪等组成。

产品特征

1、真空腔体：真空度优于6×10-4Pa。降温后优于6×10-5Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）；

2、探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备－根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外－根Triax三同轴低漏电线缆；

3、显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：0. 5X~3. 75X（使用0. 75X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；

4、变温样品台：50mm直径。变温范围：80K~400K。控温稳定性优于±0. 01 K;

5、可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；

6、系统直流漏电低于1pA；

7、产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。

应用案例

1、室温真空或者大气环境下器件电性能测量

例：单层二硫化钨场效应晶体管的IV曲线和转移曲线

2、变温IV性能测量

例：二硫化钨/硅范德瓦尔斯异质结的变温输运研究

3、器件光电性能研究（灵敏度、量子效率、相应速度等）

例： InGaZnO超晶格纳米线的超快光响应研究

4、材料热电性能的研究

例：利用真空温差热台测量材料的热电性能

5、气敏传感器的性能测试

例：二硫化钨薄膜湿度传感器