广州市固润光电科技有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:美国
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  • 详细介绍:


    Semiconsoft MProbe 膜厚测试仪

    MProbe 让 你 成 为 测 量 专 家 !

    大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量:氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si, aSi,polySi)、硬涂层(SiC, DLC), 聚合物涂料 (聚对二甲苯,PMMA,聚酰胺), 薄金属薄膜等。

    厚度和其他参数的均匀性测量对于许多应用程序是很重要的。

    映射选项包括:

    1.XY电动平台(150,200和300毫米游程)

    2.固体19 x19"铝合金平台

    3.探头架(反射/透射测量均可)与光学系统

    4.调节器

    5.支持软件(映射配方,等等)。

    定位精度

    < 2 μm

    分辨率

    < 0.5 μm

    驱动

    步进电机

    调节器

    一体化平台

    通讯

    串口(RS232)

    尺寸

    19” x 19” x 10” ( 6” 和 8”阶段)

    重量

    12 kg

    硬件选项

    -150XYM

    6”x6” (150x150mm) XY电动平台

    -200XYM

    8 x8”(200x200mm) XY电动平台

    -300XYM

    12x12”(300x300mm) XY电动平台

    -VAC

    真空夹盘(样品架通过一个电机泵插入微孔)