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NMC-4000 (A)全自动PAMOCVD系统

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NLD-4000 (ICPA) PEALD系统

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NLD-4000 (A) ALD全自动原子层沉积系统

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NLD-4000 (M)原子层沉积系统

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NLD-3500 (M) ALD原子层沉积系统

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NLD-3000 ALD原子层沉积系统

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NRE-4000 (A)全自动反应离子刻蚀

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NRE-3500 (M) RIE反应离子刻蚀机

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NRE-3000 RIE反应离子刻蚀机

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