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磁控溅射系统NSC-4000 (M)

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NEE-4000 (M)电子束蒸发系统

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NDT-4000热真空系统

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SWC-4000 (W)兆声晶圆清洗机

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NIE-3500 (MC)离子束清洗系统

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NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统

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NRE-4000 (M)反应离子刻蚀

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NPE-4000 (ICPM)等离子增强化学气相沉积系统

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NPC-3000等离子清洗机去胶机

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NLD-4000（ICPM）PEALD原子层沉积系统

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