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上海煜志科技有限公司（杭州嘉悦智能设备有限公司）

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1200加长双温区CVD系统

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1206开启式管式炉

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1200滑动式管式炉

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1400管式炉

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真空立式烧结炉

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YGD-1200多工位管式炉

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1700管式炉

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1200CVI系统

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1700CVD系统

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YRTP快速退火炉

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