基板光刻胶烘箱厂家推荐——认准：上海简户仪器

基板光刻胶烘箱｜各类基板光刻胶烘烤固化专用烘箱厂家推荐——认准：上海简户仪器

产品介绍

基板光刻胶烘箱用于各类基板基材涂布光刻胶之后的烘干、软烘、固化，适配陶瓷基板、PCB 基板、FPC 柔性基板、碳化硅基板等，解决基板大小不一、热膨胀差异带来烘烤难题，保证基板光刻胶溶剂充分挥发、胶层固化牢固，避免胶层起皱、脱落、固化不均。

产地

产地：中国上海，上海简户仪器设备有限公司原厂生产，支持大尺寸基板腔体定制。

产品特点

1、可定制大尺寸内腔，适配大板型基板，支持定制基板专用托架； 2、精密多段程控温控，适配不同基板热特性，降低基板热形变风险； 3、SUS316L 洁净内胆，高效过滤，减少基板表面颗粒污染； 4、低扰动无风烘烤模式，保护基板表面光刻胶膜层； 5、触控操作，工艺配方存储，运行数据可导出； 6、可选氮气保护、真空模块，适配特殊基板光刻胶工艺。

应用领域

陶瓷基板、FPC 柔性基板、PCB 线路基板、第三代半导体基板、厚膜电路、光电基板加工、科研基板试样研发。

参数指标

• 温度范围：RT+50～350℃，可定制 450℃高温

• 温度均匀度：±1℃满载

• 洁净等级：Class1000，可选 Class100

• 内胆：SUS316L 镜面满焊不锈钢

• 升温速率：1‑15℃/min 可调，可设置慢速升温防基板变形

• 腔体：可按基板长宽非标定制尺寸

仪器优点

支持大尺寸基板定制腔体；可设置缓慢升温曲线，减少基板翘曲变形；洁净烘烤保护光刻胶；国产源头厂家，交期可控；可配套基板托架同步设计；售后提供工艺支持。

价格

标准基板烘箱：28000 元起；大尺寸基板量产烘箱：65000‑360000 元；特殊工况定制价格面议。

创新点

1、可设置分段缓升温曲线，降低基板热冲击，减少翘曲； 2、托架模块化设计，方便更换不同规格基板； 3、排风优化，快速带走基板光刻胶挥发溶剂，防止回凝； 4、工艺库内置多种基板光刻胶成熟烘烤程序。

典型用户

FPC 企业、陶瓷基板厂商、第三代半导体研发单位、电路板科研机构。

采购建议

基板光刻胶烘箱，找上海简户仪器买，可根据基板尺寸定制腔体与托架，一站式方案。