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德国Sentech等离子体增强原子层沉积机PE-ALD

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英国HHV真空镀膜系统Auto500 GB

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英国HHV多功能镀膜机Auto306

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法国Plassys超高真空多腔体电子束镀膜机MEB550SL3

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System 100英国Oxford等离子刻蚀与沉积设备

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OpAL英国Oxford开放式样品载入原子沉积（ALD）设备

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英国Oxford等离子增强化学气相沉积System100

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英国Denton高真空蒸发器平台DV-502B

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英国DENTON磁控溅射及电子束蒸发薄膜沉积平台

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德Iplas微波等离子化学气相沉积MPCVD

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