大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸（**尺寸为8英寸）衬底退火处理，设备采用电阻丝为加热元件，保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型，保温性能好，电阻丝为内嵌式一体成型，美观、节能；该设备还集成了真空以及供气系统，满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管，满足高温工作条件，也能满足真空或者一定的正压条件实验要求，是一款洁净的大尺寸样品热处理设备。

技术参数：

流量控制器技术参数：

连接头类型：Φ6双卡套接头

流量规格： （1000,1000，1000,1000，）sccm ，具体气体量程 可根据工艺要求配置

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec  电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

耐压：3MPa

输入输出信号：0 V ~ +5.00 V（输入阻抗大于100K，输出电流不大于3mA）
电源：+15 V 50 mA -15V 200 mA
工作环境温度:5 ℃ ~ 45 ℃