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大口径高温高压芯片退火管式炉
报价:面议
品牌: 康帕因
产地: 安徽
关注度: 555
型号: 大口径高温高压芯片退火管式炉LFT1200C 450D254
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

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产品介绍

大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸(**尺寸为8英寸)衬底退火处理,设备采用电阻丝为加热元件,保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型,保温性能好,电阻丝为内嵌式一体成型,美观、节能;该设备还集成了真空以及供气系统,满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管,满足高温工作条件,也能满足真空或者一定的正压条件实验要求,是一款洁净的大尺寸样品热处理设备。

技术参数:


型号

LFT1200C 450D254

额定功率

13KW

额定电压

380V

**温度

1000

额定温度

900

推荐升温速率

10℃/min

炉管尺寸

(可根据客户要求订制)

内径245*600mm(含管堵)

外型尺寸(长×深×高)

1900*700*2100mm

控温精度

±1℃

极限真空度(选件)

1.0×10-3Pa(机械泵+分子泵)

加热元件

OCr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金)

重量

490公斤

客户自配装空气开关

40A

流量控制器技术参数:

连接头类型:Φ6双卡套接头

流量规格: 1000,10001000,1000sccm ,具体气体量程 可根据工艺要求配置

准确度:±1.5%

线性:±0.5~1.5%

重复精度:±0.2%

响应时间:气特性:1~4 Sec  电特性:10 Sec

工作压差范围:0.1~0.5 MPa

耐压:3MPa


输入输出信号:0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA)
电源:+15 V 50 mA -15V 200 mA
工作环境温度:5  ~ 45  


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工商信息
企业名称

合肥康帕因设备技术有限公司

企业类型

信用代码

91340103MA2ND12N6H

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成立日期

注册资本

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