1、技术指标

环境温度：5~32℃

空气相对湿度：≤85%

工作电压：AC220V±10%  50/60HZ

系统整体极限真空度：5.0×10^-5Pa

实验真空度：5.0×10^-3Pa

连接管路：采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10^-9Pa.m³/s

2、配置说明  

2.1、机械泵：

抽气速率：10m³/H

容油量：1.1L

电机功率：400W

极限压强：6×10^-2Pa

2.2、分子泵：

抽气速率：100L/S

极限压强：6×10^-6Pa

启动时间：＜2min

额定转速：4300转/分

冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时看，水冷。

2.3、分子泵控制器：

电压：220V±22V

启动电流：≤7A

输入频率：47HZ—63HZ

**输出功率：≤150W

**加速电压：≤40V

加速时间：≤3min

频率（双速）：高速705HZ±10HZ

             低速430HZ±5HZ

2.4、复合真空计：

测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）

工作模式：手动/自动（可切换）

电阻单元参数

规管型号：ZJ-52T电阻规

测量范围：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

有效范围：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

控制范围：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

电离单元参数

规管型号：ZJ-27电离规

可测范围：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

有效范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

控制范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

规管除气方式：焦耳去气

控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度：±1%

采样时间：1S

电源：220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用环境温度：0℃~45℃

湿度：≤85%