刚刚过去的SEMICON/ FPD China您参加了吗?
据不完全统计,今年的SEMICON China 展览面积达90,000平方米,1,100多家展商,4,200多个展位,20多场同期会议和活动。覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料、光伏、显示等全产业链携手合作,全球规模最大、最具影响力的半导体专业展!
现场实录
【展台精彩回顾】
梅特勒托利多作为一家精密仪器制造商与服务商,今年也如期在SEMICON亮相,携在线分析仪器(超纯水、化学品分析)、称重(平台秤、称重模块)和实验室解决方案(天平、水分仪等),和新老朋友们见面。
展会现场,众多业内同仁莅临梅特勒托利多展位,与现场的技术顾问进行了交流。
新升级的UPW Unicond® 电阻率传感器
本届SEMICON展览中,梅特勒托利多首次带来了今年5月发布的升级款专用于半导体超纯水的高精度电阻率传感器:UPW Unicond®
在半导体制造中,随着工艺发展,对超纯水和化学品中的杂质离子管控也越发严苛。高精度的电阻率传感器可以对杂质离子进行快速准确的监测,从而助力提高半导体湿制程良率。
七十多年以来,梅特勒托利多的电阻率传感器一直运用于半导体超纯水的监测,也伴随着客户的工艺要求而进行升级。
升级版的传感器精度不仅由原来的±1%提升到了±0.5%,更通过硬件设计和软件优化共同作用,提升了稳定性和可靠性,更好地避免环境温度和电子干扰带来的不确定性。
为什么半导体制造离不开在线分析产品?
在半导体制造过程中,工艺过程中会用到大量的超纯水和化学品,直接与产品接触,因而这些液体或气体是否达到标准将直接影响工艺的良率。
而在线分析产品的传感器就相当于“眼睛”,及时监测液体或气体的状态;接着通过变送器,将“眼睛”所“观测”到的信号进行处理后,及时传输到生产设备或者厂务系统;生产设备或者厂务系统获取到的数据,对半导体制造来说,有许多重要的作用:
及时预警超标,避免不必要的损失
例如在浸没式光刻的浸没液中的TOC超标将影响光刻的质量。
优化工艺、提高良率
例如在晶圆清洗机中的pH,电导率,可确保清洗是否真正有效。
自动化配液、PID控制等
在厂务的中央供给系统中,根据浓度的变化,进行自动化的配液。
除电阻率传感器以外,梅特勒托利多的在线分析产品的产品线丰富,还可以提供多种条件下pH、溶解氧、臭氧、浊度、硅、钠、氯离子、电导率、浓度、微生物、总有机碳等参数的实时监测,可运用于清洗机、晶圆电镀机等半导体生产设备,半导体厂务中央化学品、研磨液供给系统、纯废水系统、废气处理环节等。
新升级超纯水电阻率