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单温区PE-CVD系统
报价:面议
品牌: 科幂
产地: 安徽
关注度: 38
型号: 单温区PE-CVD系统
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产品介绍

产品特点

高性能射频电源.等离子体更稳定;

滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区;

可实现快速升温和降温功能;与传统CVD相比较,生长温度更低。

 

技术参数

项目型号TFE - 1200 - 50 - 220
**温度1150℃(短期)
额定温度1100℃
推荐升温速率≤10℃/min
控制精度±1℃
炉管尺寸Φ30/50/60*1200mm
炉膛尺寸Φ80*220mm
加热区长度220mm
恒温区长度80mm
加热元件优质国产电阻丝
额定功率3KW
供气系统

三路高精度MFC

量程0-500sccm(可定制)

射频电源

射频功:5-500W;

射频频:13.56MHz;

匹配方式:自动匹配

真空系统双级旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等)
外形尺寸1250*510*810mm

 


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工商信息
企业名称

安徽科幂仪器有限公司

企业类型

信用代码

91340100095928230X

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